中科优唯深紫外LED设备及工艺取得突破性进展

神州音响网讯：

　　北京中科优唯科技有限公司(以下简称“中科优唯”)是在与中国科学院半导体研究所合作基础上于2015年2月组建的高新技术企业，专注于深紫外(300nm以下)LED的产业化。针对深紫外氮化物外延生长设备、深紫外LED的外延工艺和器件工艺，为客户提供能够充分发挥深紫外LED性能的材料和器件。

　　近日，该公司宣布在深紫外UV设备和工艺方面取得突破性进展。

　　据悉，中科优唯研发出的专门用于深紫外LED的7片机和48片机型，生长温度高达1400℃以上，加热丝具有很好的寿命;生长压力30torr到常压连续可调;顶盘实现水冷喷淋式均匀进气，均匀性优于1%，有限元仿真模拟热场、流场可满足客户需求。

　　其开发出的深紫外LED基础材料AlN缓冲层的基础工艺生长速率为1um/h时，在7片机和48片机上获得满足深紫外LED生长的XRD摇摆曲线半高宽，(002)最低达到30弧秒，(102)已小于500弧秒。

　　其初步制作的280nm附近深紫外LED已实现电注入发光，发光功率大于1mw。

　　“从目前进展来看，我们有望实现批量设备上280nm以下深紫外LED的材料生长，并结合器件工艺实现规模化深紫外LED的技术突破，为深紫外LED降低成本，规模应用解决生产设备和成套工艺的技术瓶颈。”公司高管对记者表示。

　　目前紫外LED光源主要用于紫外光固化、防伪检测、医学光照、荧光分析、药物研发、空气和水净化等领域。

　　“未来白色家电将是使用深紫外LED消毒应用的一大新领域，电冰箱、洗衣机、空调机、空气净化器、饮水机等产品都有使用小型消毒器的需求，各大厂家都在寻找适合的产品，紫外LED具有体积小、设计方便、没有污染等特点，十分适合在白色家电中应用。”公司高管告诉记者。

　　2014年，我国电冰箱、洗衣机、空调、空气净化器、饮水机的产品分别为8796万台、7114万台、14463万台、1025万台和1785万台，合计33，183万台。“如果每台产品增加紫外LED消毒功能，成本仅仅增加50-100元，家电厂家是非常乐于接受的。这样，全国白色家电领域可增加150-300亿的紫外LED消毒产品市场，全球白家电可增加300-600亿人民币的紫外LED消毒产品市场。”该高管说。

　　“中科优唯将以目前所具有的高温氮化物MOCVD的研发及生产技术、深紫外LED外延芯片的加工工艺为基础，进行深紫外UV LED外延芯片的产业化生产，通过不断提高产量和降低市场售价逐步打开深紫外LED消毒模块在白色家电领域的应用，扩大公司的市场规模。”该高管表示。